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  • 緊湊型側式真空氣相沉積設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物(長鏈性高分子材料,一般為派瑞林Parylene)、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真空反應室,借助空間氣相...2019-06-01 15:00:13
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